Introdução ao W-Seal e C-Seal

Os sistemas de gás integrados (IGs) usados em equipamentos de semicondutores normalmente consistem em componentes como válvulas de diafragma, válvulas de verificação, reguladores, filtros, sensores de pressão, controladores de fluxo de massa e substratos. Esses componentes geralmente são montados na superfície e são selados usando W-Seal ou C-Seal. A escolha do tipo de vedação é crucial para determinar o desempenho de vedação do sistema. Nesta palestra de tecnologia, discutiremos as semelhanças e diferenças entre W-Seal e C-Seal.

Semelhanças entre W-seal e C-seal

W-Seal e C-Seal são os dois tipos de vedações de metal. Ao contrário de vedações não metálicas, como borracha ou compósito, as vedações de metal não se deterioram ao longo do tempo devido à compactação e têm boa compatibilidade química. Juntas de Ichor W-Seal (série IWG) e juntas C-Seal (série ICG) são feitas de aço inoxidável 316L ou 316L Var, de acordo com o processo de pureza de ultra alta ichor (FC-03). Essas juntas são eletro-polidas para atingir uma rugosidade superficial de RA ≤ 5 μin. (0,13 μm), que está em conformidade com a semi -F19 UHP. Com excelente desempenho de vedação, sua taxa de vazamento de face de vedação (hélio) ≤ 1 × 10 ^-9 std cm ³ /s.

Comparado à vedação de solda ou vedação da face da junta de metal, W-Seal e C-Seal são mais compactos e podem reduzir significativamente o tamanho dos sistemas de entrega de gás. Para ocasiões que requerem fluxo limitado, estão disponíveis juntas de vedação com orifício especificado.

Diferenças entre W-Seal e C-Seal

As juntas W-Seal (série IWG) são projetadas com uma estrutura "flutuante", permitindo que o rosto de vedação seja independente dos componentes que recebem forças externas. Durante a instalação, a face de vedação da junta se comprime contra os componentes montados na superfície (como o corpo da válvula W-Seal) e os substratos e forma a vedação. Cada W-Seal pode ser instalado no sistema individualmente, facilitando a remoção e reinstalação à medida que os layouts do sistema são modificados. Além disso, o Ichor Service Kit (Modelo no.: SC-IGS-11) oferece uma pinça de vedação para juntas W-Seal para garantir uma instalação de qualidade da junta.

A seção de uma junta C-Seal (série ICG) se assemelha à letra "C" com dois chefes de vedação plana de ambos os lados. Quando corretamente apertado, a parte superior e inferior da junta esmagam os componentes montados na superfície (como o corpo da válvula C-Seal) e as faces de vedação endurecidas dos substratos e criam vedações. Além disso, o suporte da junta C-Seal pode ajudar a localizar várias juntas ao mesmo tempo.